橢偏儀是什么?橢偏儀的基本原理是什么?
來(lái)源:今日熱點(diǎn)時(shí)間:2023-05-30 13:41:24
橢偏儀,是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量設(shè)備。由于并不與樣品接觸,對(duì)樣品沒(méi)有破壞且不需要真空,使得橢偏儀成為一種極具吸引力的測(cè)量設(shè)備。偏振光橢圓率測(cè)量?jī)x所需的組件包括:①把非偏振光轉(zhuǎn)化為線性偏振光的光學(xué)系統(tǒng);②把線性偏振光轉(zhuǎn)化為橢圓偏振光的光學(xué)系統(tǒng);③樣品反射;④測(cè)量反射光偏振特性的光學(xué)系統(tǒng);⑤測(cè)量光強(qiáng)度的探測(cè)器;⑥根據(jù)假設(shè)模型計(jì)算結(jié)果的計(jì)算機(jī)。
橢偏儀的基本原理是什么?
橢圓偏光法涉及橢圓偏振光在材料表面的反射。為表征反射光的特性,可分成兩個(gè)分量:P和S偏振態(tài),P分量是指平行于入射面的線性偏振光,S分量是指垂直于入射面的線性偏振光。菲涅耳反射系數(shù)r描述了在一個(gè)界面入射光線的反射。P和S偏振態(tài)分量各自的菲涅耳反射系數(shù)r是各自的反射波振幅與入射波振幅的比值。大多情況下會(huì)有多個(gè)界面,回到最初入射媒介的光經(jīng)過(guò)了多次反射和透射??偟姆瓷湎禂?shù)Rp和Rs,由每個(gè)界面的菲涅耳反射系數(shù)決定。Rp和Rs定義為最終的反射波振幅與入射波振幅的比值。
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